《光罩製程中氣體顆粒監測》精彩報告

“第2屆光罩與光阻劑產業論壇”將於5月28日召開。本次論壇由亞化諮詢主辦。

此次會議將彙聚光罩及光阻劑行業的領軍企業、機構的技術和市場專家，探討中國光掩模版產業的技術進展、市場機遇與挑戰，以及產業前景展望。

來自衞利國際科貿（上海）有限公司的 資深產品應用經理 張磊先生將作《光罩製程中氣體顆粒監測》精彩報告，歡迎大家報名參會！

衞利集團

聚焦微污染管控和靜電防護，結合行業中“光散射原理”、“凝結核原理”、“視覺/動態圖像偵測”等測試原理和方法，深耕半導體產業中的顆粒和Precursor測試。

1.使用Reticle型偵測設備對光罩製成腔內顆粒，水準、震動、和對位等線上測試。

2. 可擕式氣體納米顆粒計數器和收集器，對機台和腔體內環境以及小至4.5 nm的顆粒物進行快速定量測試，並將測試後的顆粒污染物進行收集，以便用於進一步的物質鑒定。

公司簡介

80年代初始創於香港，並於80年代末期將經營範圍拓展至中國大陸，今天的衞利集團業已成長為一家為先進製造業提供工藝測量、微污染控制及全方位解決方案的服務商。基於可信及卓越的服務，

衛利成為了眾多世界領先的電子及生化製藥公司的合作夥伴。

產品展示

會議背景

近年來，中國對高端光罩的需求快速增長，但技術研發、生產能力及產業鏈整合方面仍面臨諸多挑戰。

全球半導體光罩市場在2018年至2022年間從40.4億美元增長至49億美元，年複合增長率達4.9%。

預計到2025年，該市場規模將進一步擴大至約55億美元。亞化諮詢研究認為我國2025年協力廠商光罩市場規模占比為70%左右:

預計2030年中國光罩市場規模有望達到120億元。

全球光罩版市場主要由Photronics、日本凸版(Toppan)和大日本印刷(DNP)三大企業主導，市場佔有率超過80%。

而在中國市場，路維光電、清溢光電、冠石科技、龍圖光罩等本土企業正在不斷提升其市場競爭力，並在國產化替代方面取得初步突破。

2023年我國半導體製造用光阻劑市場規模為39.6億元，而國內企業半導體製造用光阻劑銷售收入僅為10.1億元。

預計2024年光阻劑銷售收入達到13.1億元。

在ArF光阻劑領域，國內廠商正在加快研發進程，並取得了核心突破。

國內一些光刻膠龍頭企業如上海新陽、南大光電、容大感光、廣信材料、晶瑞電材等在光阻劑的研發和生產方面取得了顯著進展。據亞化諮詢最新行業調研，

國內領先的光阻劑新銳企業還包括珠海基石(2022年成立)、國科天驥(2019年成立)等。

“第2屆光罩與光阻劑產業論壇”將於5月28日召開。本次論壇由亞化諮詢主辦。

此次會議將彙聚光罩及光阻劑行業的領軍企業、機構的技術和市場專家，探討中國光罩產業的技術進展、市場機遇與挑戰，以及產業前景展望。